Ausführung
Sachsen
Ein Stück Die-to-Wafer Bonder (IPMS-MRS14.1) mit erweiterter Garantie von 12 Monaten (insgesamt 24 Monate) soll geliefert werden. Das Gerät muss Wafer verschiedener Größen verarbeiten, Chiplets aus bestimmten Trays aufnehmen und über SECS‑GEM (E30, E5, E37, E10) oder eine vollständig dokumentierte proprietäre Schnittstelle steuerbar sein.
Sachsen
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Ein Stück Die-to-Wafer Bonder (IPMS-MRS14.1) mit erweiterter Garantie von 12 Monaten (insgesamt 24 Monate) soll geliefert werden. Das Gerät muss Wafer verschiedener Größen verarbeiten, Chiplets aus bestimmten Trays aufnehmen und über SECS‑GEM (E30, E5, E37, E10) oder eine vollständig dokumentierte proprietäre Schnittstelle steuerbar sein.