Ausführung
Baden-Württemberg
Lieferung und betriebsfertige Übergabe einer induktiv gekoppelten Plasma‑Quelle (ICP) PECVD‑Anlage inklusive Funktionstest, Einweisung, Inbetriebnahme und Schulung für die Universität Heidelberg zur Abscheidung hochwertiger dielektrischer Dünnfilme.
Baden-Württemberg
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Lieferung und betriebsfertige Übergabe einer induktiv gekoppelten Plasma‑Quelle (ICP) PECVD‑Anlage inklusive Funktionstest, Einweisung, Inbetriebnahme und Schulung für die Universität Heidelberg zur Abscheidung hochwertiger dielektrischer Dünnfilme.