Ausschreibung

Gasphasenabscheidungsanlage (ICP‑PECVD) für die Universität Heidelberg, Baden-Württemberg - Frist 05.10.2026

Lieferung und betriebsfertige Übergabe einer induktiv gekoppelten Plasma‑Quelle (ICP) PECVD‑Anlage inklusive Funktionstest, Einweisung, Inbetriebnahme und Schulung für die Universität Heidelberg zur Abscheidung hochwertiger dielektrischer Dünnfilme.

Ausführung

Baden-Württemberg

Frist

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Leistungsbeschreibung

Lieferung und betriebsfertige Übergabe einer induktiv gekoppelten Plasma‑Quelle (ICP) PECVD‑Anlage inklusive Funktionstest, Einweisung, Inbetriebnahme und Schulung für die Universität Heidelberg zur Abscheidung hochwertiger dielektrischer Dünnfilme.

Id: 1a8e9fbb-d934-43ea-9a78-263ad33ac5ab