Ausführung
Bayern
Ausschreibung
Glas and Metal Etch (EMFT-01.2 - EMFT-01.6) - PR1074784-2270-P, Bayern - Frist 17.08.2026
Ein Stück Glas- und Metall-Ätzgerät (EMFT‑01.2‑EMFT‑01.6) für 200‑mm‑Substrate wird benötigt, das hochdichte Plasma für das Tiefenätzen von Glas‑ und Quarzsubstraten sowie Metallleitungen bereitstellt. Das System muss homogene Ätzraten, transparente Substraterkennung und Optionen für verschiedene Materialien wie Ni, Nb, NbN, Si3N4, TiN und AlN erfüllen.
Frist
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Leistungsbeschreibung
Ein Stück Glas- und Metall-Ätzgerät (EMFT‑01.2‑EMFT‑01.6) für 200‑mm‑Substrate wird benötigt, das hochdichte Plasma für das Tiefenätzen von Glas‑ und Quarzsubstraten sowie Metallleitungen bereitstellt. Das System muss homogene Ätzraten, transparente Substraterkennung und Optionen für verschiedene Materialien wie Ni, Nb, NbN, Si3N4, TiN und AlN erfüllen.
Einordnung
Kategorien
Regionen
Keywords
glasmetallmikroelektronikplasmasubstrateätzgerät
Id: c376f8e8-94fc-493c-ae97-71a026735811