Ausführung
Baden-Württemberg
Ausschreibung
Laserlithographie, Baden-Württemberg - Frist 03.08.2026
Im Rahmen der Ausschreibung wird eine Anlage für die klassische Mikrostrukturierungsprozesskette im Reinraum beschafft, die hochauflösende Direktlithographie und die Herstellung von UV-Lithographiemasken mittels Laserlithographie ermöglicht. Die benötigten Medien und Peripheriegeräte werden vom DLR bereitgestellt.
Frist
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Leistungsbeschreibung
Im Rahmen der Ausschreibung wird eine Anlage für die klassische Mikrostrukturierungsprozesskette im Reinraum beschafft, die hochauflösende Direktlithographie und die Herstellung von UV-Lithographiemasken mittels Laserlithographie ermöglicht. Die benötigten Medien und Peripheriegeräte werden vom DLR bereitgestellt.
Einordnung
Kategorien
Regionen
Keywords
dlrlaserlithographiemikrostrukturierungquantentechnologiereinraum
Id: 68e5d1c1-1186-4fc7-a7e2-7f72622395b9