Ausführung
Baden-Württemberg
Die Hahn‑Schickard gGmbH beauftragt die Planung, Lieferung, Installation, Inbetriebnahme und Abnahme eines neuen maskenlosen Lithographiesystems, das Fotolacke im Submikrometer‑Bereich hochpräzise belichtet und damit die Herstellung von temporären und permanenten Masken sowie mikrofluidischen Strukturen ermöglicht.
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Die Hahn‑Schickard gGmbH beauftragt die Planung, Lieferung, Installation, Inbetriebnahme und Abnahme eines neuen maskenlosen Lithographiesystems, das Fotolacke im Submikrometer‑Bereich hochpräzise belichtet und damit die Herstellung von temporären und permanenten Masken sowie mikrofluidischen Strukturen ermöglicht.