Ausführung
Thüringen
Ausschreibung
maskenloses UV-Direktlithographie-System in Jena, Thüringen - Frist 12.08.2026
Es wird ein kompaktes Tischsystem für maskenlose UV-Direktlithographie im Reinraumeinsatz beschafft. Das System bietet sowohl rasterbasierte Vollflächen- als auch vektorbasierten Direktbelichtungsmodus für hochauflösende Mikro‑ und Nanostrukturen, Ausbesserungen und konturtreue Linienbelichtungen auf verschiedenen Substraten.
Frist
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Leistungsbeschreibung
Es wird ein kompaktes Tischsystem für maskenlose UV-Direktlithographie im Reinraumeinsatz beschafft. Das System bietet sowohl rasterbasierte Vollflächen- als auch vektorbasierten Direktbelichtungsmodus für hochauflösende Mikro‑ und Nanostrukturen, Ausbesserungen und konturtreue Linienbelichtungen auf verschiedenen Substraten.
Einordnung
Kategorien
Keywords
forschungnanostrukturenreinraumtischsystemuv-direktlithographie
Id: 86d3873b-2156-46f8-951e-7fe66fdff697