Reaktives Ionenätzsystem mit Dual‑Plasma‑ und Helium‑Rückkühlung, Bayern - Frist 11.09.2026

Gesucht wird ein reaktives Ionenätzgerät, das in einer Kammer zwei unterschiedliche Ätzregime mit entkoppelter Plasmadichte und Ionenenergie ermöglicht, über eine Gasbox mit mindestens fünf Leitungen für Sauerstoff‑ und Fluor‑Chemie sowie aktive Helium‑Rückseitenkühlung für schonende Soft‑Etches und die Strukturierung von Solid Immersion Lenses in Diamant und SiC.