Ausschreibung

Teil-automatisches Reinigungssystem für 6-, 7- und 9-Zoll-Fotolithografie-Masken, Sachsen - Frist 16.09.2026

Beschaffung und Installation eines teil-automatischen Reinigungssystems, das 6-, 7- und 9-Zoll-Fotolithografie-Masken im Reinraum der Halbleiterindustrie nach Austausch des Chucks reinigen kann.

Ausführung

Sachsen

Frist

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Leistungsbeschreibung

Beschaffung und Installation eines teil-automatischen Reinigungssystems, das 6-, 7- und 9-Zoll-Fotolithografie-Masken im Reinraum der Halbleiterindustrie nach Austausch des Chucks reinigen kann.

Id: 0dbeec79-7afd-48f7-80a4-e2f753bca0e5