Ausführung
Sachsen
Beschaffung und Installation eines teil-automatischen Reinigungssystems, das 6-, 7- und 9-Zoll-Fotolithografie-Masken im Reinraum der Halbleiterindustrie nach Austausch des Chucks reinigen kann.
Sachsen
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Beschaffung und Installation eines teil-automatischen Reinigungssystems, das 6-, 7- und 9-Zoll-Fotolithografie-Masken im Reinraum der Halbleiterindustrie nach Austausch des Chucks reinigen kann.