Ausführung
Nordrhein-Westfalen
Ausschreibung
Erneuerung und Erweiterung der MOVPE‑Anlage für III‑Nitrid‑ und 2D‑Halbleiter, Nordrhein-Westfalen - Frist 30.10.2026
Die Universität Duisburg‑Essen beauftragt die teilweise Erneuerung der Prozesspumpe, des Showerhead‑Gaseinlasses und von vier Rückschlagventilen sowie den Einbau von Leitungen für Triethylboran und Ethen in die bestehende MOVPE‑Anlage (Aixtron CS17580) zur Herstellung von III‑Nitrid‑ und 2D‑Halbleitern.
Frist
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Leistungsbeschreibung
Die Universität Duisburg‑Essen beauftragt die teilweise Erneuerung der Prozesspumpe, des Showerhead‑Gaseinlasses und von vier Rückschlagventilen sowie den Einbau von Leitungen für Triethylboran und Ethen in die bestehende MOVPE‑Anlage (Aixtron CS17580) zur Herstellung von III‑Nitrid‑ und 2D‑Halbleitern.
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Keywords
2d-halbleitergasversorgungiii-nitridmovpeprozesspumpeuniversität-duisburg-essen
Id: 86506b62-171c-4686-8244-7376aee6b3fa