Ausführung
Nordrhein-Westfalen
Ausschreibung
Erneuerung und Erweiterung einer MOVPE‑Anlage für III‑Nitrid‑ und 2D‑Halbleiter, Nordrhein-Westfalen - Frist 09.10.2026
Die Universität Duisburg‑Essen erneuert die Prozesspumpe, den Showerhead‑Gaseinlass und vier Rückschlagventile der MOVPE‑Anlage (Aixtron CS17580). Zusätzlich werden Leitungen für Triethylboran und Ethen in das Gasversorgungssystem integriert, um die Produktion von III‑Nitrid‑ und 2D‑Halbleitern zu erweitern.
Frist
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Leistungsbeschreibung
Die Universität Duisburg‑Essen erneuert die Prozesspumpe, den Showerhead‑Gaseinlass und vier Rückschlagventile der MOVPE‑Anlage (Aixtron CS17580). Zusätzlich werden Leitungen für Triethylboran und Ethen in das Gasversorgungssystem integriert, um die Produktion von III‑Nitrid‑ und 2D‑Halbleitern zu erweitern.
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2d-halbleitergasversorgungiii-nitridmovpeprozesspumpeuniversität-duisburg-essen
Id: 4bd0e655-9704-45ad-aec3-c47290659aa8