Ausführung
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Das ausgeschriebene System dient der schonenden Abscheidung optischer Funktionsbeschichtungen, insbesondere Antireflex‑ und Facetten‑Passivierungs‑Coatings, auf optoelektronischen Halbleiterbauelementen von Hochleistungslasern mittels plasmaunterstützter Elektronenzyklotronresonanz (ECR).
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Das ausgeschriebene System dient der schonenden Abscheidung optischer Funktionsbeschichtungen, insbesondere Antireflex‑ und Facetten‑Passivierungs‑Coatings, auf optoelektronischen Halbleiterbauelementen von Hochleistungslasern mittels plasmaunterstützter Elektronenzyklotronresonanz (ECR).